回顾：不用光刻机也能生产芯片？纳米压印技术的出现，到底靠不靠谱？15年前，湖南女子生下“猴子”，杂技团想巨资买走，如今孩子咋样

目前，全球只有三家公司能够用EUV光刻机生产5纳米芯片，分别是台积电、韩国三星和美国英特尔。不过，现在有一种新技术引起了人们的关注，它叫纳米压印技术，可以不用EUV光刻机，也能生产芯片。这种技术是怎么做到的呢？它有什么优点和缺点呢？它能不能取代EUV光刻机呢？

纳米压印技术的原理

芯片是我们现代生活中不可或缺的东西，从手机到电脑，从电视到冰箱，几乎所有的电子设备都需要芯片来运行。芯片的制造工艺越先进，芯片的性能就越强大，功耗就越低，价格就越便宜。

目前，世界上最先进的芯片制作工艺是5纳米，也就是说，芯片上的晶体管之间的距离只有5纳米，比头发丝还细上千倍。要做出这样的芯片，需要用到一种叫EUV光刻机的设备，它可以用极紫外光（EUV）在晶圆上刻出微小的图案，然后用化学方法把图案转移到晶体管上。

胆小者勿入！五四三二一…恐怖的躲猫猫游戏现在开始！

这种设备非常昂贵，一台就要几亿美元，而且运行起来也很耗电，一年的电费就要几千万美元。目前，全球只有三家公司能够用EUV光刻机生产5纳米芯片，分别是台湾的台积电、韩国的三星和美国的因特尔。

不过，最近有一种新技术引起了人们的关注，它叫纳米压印技术（Nanoprinting），它可以不用EUV光刻机，也能生产5纳米甚至更小的芯片，并且成本更低。

这种技术是怎么做到的呢？它的原理其实很简单，就像我们小时候玩过的印章一样。首先，我们需要一个模板，它是一个有很多凹凸图案的硬质材料，比如硅、石英或塑料。然后，我们需要一种压印胶，它是一种可以在紫外光或高温下固化的液态材料。

接下来，我们把压印胶涂在晶圆上，晶圆是一种用来制作芯片的圆形硅片。然后，我们把模板按在晶圆上，让压印胶填满模板上的凹槽，并用紫外光或高温让压印胶固化。

最后，我们把模板拿开，就可以看到压印胶上有了跟模板一样的图案。这样，我们就完成了一次纳米压印。

从秘书起步，十年内无人超越，以一己之力力挽狂澜成就一段传奇

根据压印胶固化的方式不同，纳米压印技术可以分为两种：热压印（Thermal Imprinting）和紫外压印（UV Imprinting）。

热压印是用高温让压印胶软化和固化的方法，它需要比较复杂和耗能的设备，并且精度和效率都不太高。

紫外压印是用紫外光让压印胶固化的方法，它可以在常温常压下完成，并且精度和效率都比较高。所以，在芯片制造领域，紫外压印技术更受欢迎。

纳米压印技术的优点

用模板将图案转移到芯片晶原上的方法。这种方法听起来很简单，但是它真的能够实现高精度、低成本、低能耗的芯片制造吗？其实，纳米压印技术相比光刻法有很多优点。

模板设计更简单。纳米压印技术的模板可以直接按照实际图案进行设计，跟雕刻图章一样，只需要反着刻就可以了。而光刻技术的眼膜板就复杂多了，不仅制作流程上更复杂，就连图案设计也是非常复杂的。

因为到了纳米尺度，光并不是老老实实指哪打哪的，它们存在衍射的现象，一个纳米级宽度的长方形用光照过去，形成的影子就不是长方形了。要想得到长方形，那模板上的图案就不能是标准的长方形，必须做好修饰才行。

所以光刻技术的眼膜板如果放大以后再看的话，图案跟最终要得到的图案并不一样，设计的时候需要精细计算光线衍射造成的偏差程度，然后反着推导设计出需要对模板图案做怎样的修饰才能得到目标图案。

这里面设计的问题还是挺多的，但是纳米压印完全不需要考虑这些，印下去以后图案是非常吻合的。

可以减少光刻步骤。对于5纳米光刻来说，别说波长为193纳米的DUV光刻机，就连13.5纳米的EUV光刻机都难以一

一般来说，光刻精度只能达到波长的一半。但是台积电、三星等公司在不用EUV光刻机的情况下也能实现28纳米、14纳米甚至7纳米工艺的生产，其绝招就是多层曝光做减法。7米长的木棍和5米长的木棍做减法就可以画出两米长的线段。

但是这样的操作无疑增加了工艺的复杂程度，出错的机会也会变多。但是纳米压印不需要，只要模板能做到5纳米，那就直接压印好了，不需要两次甚至更多次压印。

模板制作更容易。光刻技术的眼膜板要用多种材料来制作，既有透光材料或反光材料，还要有不透光材料或吸光材料。像EUV光刻技术的眼膜板需要很多种材料来制作，反光部位还需要制作很多层均匀的金硅交替材料，制作工艺非常复杂。

而纳米压印技术的模板就简单多了，用硅可以，用石英或二氧化硅可以，用硬塑料也可以，一种材料就能搞定。图案制作跟光刻技术的眼膜板制作差不多，都可以用电子束光刻机来制作。

更有意思的是，纳米压印技术的模板还可以用纳米压印的方式来生产，只要生产一个原始模板，就可以通过纳米压印的方式生产很多实际使用的模板，降低模板的生产成本。可以实现印刷流水线。

纳米压印技术的模板未来也可以设计成滚筒形式，一边压印一边用紫外线曝光固定。不管是晶原硅片还是柔性芯片材料，都可以在这个流水线上进行图案转印，效率还是可以很高的。

纳米压印能否替代EUV光刻机

这种技术看起来很有潜力，那么它在芯片制造领域的应用情况如何呢？

其实纳米压印技术并不是一种新鲜的技术，它早在上个世纪九十年代就被提出来了，只是一直没有在芯片制造领域得到广泛的应用。这是因为，纳米压印技术虽然有很多优点，但也有很多缺点和困难，比如模板寿命低、容易污染、工作效率低、模板图案制作困难等等。

这些问题导致了纳米压印技术的成本并不低，而且可靠性也不高。所以，在芯片制造领域，纳米压印技术一直处于边缘化的状态，只有少数公司和机构在进行研究和试验。

但是，在近几年，随着芯片制造工艺的不断进步，纳米压印技术也有了一些突破和进展。其中最引人注目的是日本的一家公司，叫做佳能纳米技术，它是佳能公司的子公司，专门从事纳米压印技术的研发和应用。

这家公司声称，它已经用紫外压印技术实现了15纳米芯片的量产，并且准备实验5纳米芯片的生产工艺。这套紫外压印工艺，设备比EUV光刻机便宜，运行比EUV光刻机省电，产品精度还不次于EUV光刻。这让很多人感到惊讶和好奇。

这家公司已经跟美国的一家芯片设计公司——Molecular Imprints合作，打算开发出一种基于纳米压印技术的新型存储器——Nanoimprint Memory。这种存储器可以实现高密度、高速度、低功/p>

除了日本公司之外，其他国家和地区也有一些研究和开发纳米压印技术的机构和企业。比如欧洲有一个叫做NILaustria的项目，旨在推动纳米压印技术在欧洲的发展和应用；美国有一个叫做NILCom的联盟，旨在促进纳米压印技术在美国的商业化和标准化；中国也有一些高校和研究所在进行纳米压印技术的研究和试验。

总之，纳米压印技术在全球范围内都受到了越来越多的关注和支持。它是一种有潜力的技术，它有一些EUV光刻机所没有的优势，比如模板设计简单、减少光刻步骤、模板制作简单、可以实现印刷流水线等。这些特点让纳米压印技术在成本和效率上有一定的优势。

而且，纳米压印技术已经在一些领域得到了应用，比如太阳能电池板、光学器件、生物芯片等。甚至有一些公司和机构已经用纳米压印技术实现了15纳米甚至5纳米芯片的生产。

虽然纳米压印技术在芯片制造领域还处于起步阶段，距离真正替代EUV光刻机还有很长的路要走。

但是，随着科技的进步和市场的变化，纳米压印技术也许会有一天成为芯片制造的主流技术，或者至少成为一种重要的补充技术。毕竟，谁也不想花大价钱买一台耗电量巨大的EUV光刻机，如果有一种更便宜、更省电、更高效的技术，谁不想试试呢？

结语

纳米压印技术是一种有潜力的芯片制造技术，它有一些EUV光刻机所没有的优势，但也有很多缺点和困难。它能否替代EUV光刻机，并不是一个简单的是非题。它需要在技术上不断突破，在市场上不断拓展，在资金上不断投入。只有这样，它才能真正成为芯片生产的主要技术。

本文内容由互联网用户自发贡献，该文观点仅代表作者本人。本站仅提供信息存储空间服务，不拥有所有权，不承担相关法律责任。如发现本站有涉嫌抄袭侵权/违法违规的内容，请发送邮件至 630371849@qq.com 举报，一经查实，本站将立刻删除。
如若转载，请注明出处：https://www.f6sj.com/2016.html

回顾：不用光刻机也能生产芯片？纳米压印技术的出现，到底靠不靠谱？15年前，湖南女子生下“猴子”，杂技团想巨资买走，如今孩子咋样

相关推荐